Оптическое крепление для подвижного зеркала 

Название: Нанометровая точность! Интегрированное гибкое шарнирное крепление устанавливает новый стандарт в лазерной интерферометрии

Новость:

В высокотехнологичных оптических приложениях, таких как лазерные интерферометры и спектральный анализ, точность микроперемещения оптических креплений для подвижных зеркал напрямую определяет пределы измерения всей системы. Новейшая интегрированная гибкая шарнирная конструкция для креплений подвижных зеркал привлекает внимание всей отрасли.

С точки зрения производства, этот продукт преодолевает ограничения традиционных конструкций с разъемной сборкой. Его основная инновация заключается в использовании электроэрозионной резки (WEDM) и фемтосекундной лазерной микро-нано обработки для непосредственного «вырезания» гибких механизмов с заранее определенными эластичными деформационными способностями из единого блока высокопрочного алюминиевого сплава или нержавеющей стали. Этот механизм передачи без трения, люфта и ползучести идеально заменяет традиционные конструкции с ходовым винтом или подшипниковым направляющим.

Инновации в производственных процессах привели к скачку в производительности. Такие подвижные крепления зеркал могут достигать разрешения и повторяемости в субнанометровом диапазоне в сочетании с более быстрым временем отклика. Эксперты отрасли считают это важной вехой, знаменующей переход механизмов прецизионной оптической регулировки от «механической эры» к «эре мехатроники», что значительно продвигает развитие автоматизированного оптического контроля (AOI) и фронтального полупроводникового оборудования.